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Waferfabrik AMD Dresden FAB 36




Bauherr

AMD Saxony LLC & Co. KG,

Dresden


Bauzeit

März bis November 2004



Am Standort Dresden produziert AMD in den Halbleiterwerken FAB 30 und FAB 36 Prozessoren für die Computer-Industrie. Diese Prozessoren werden aus ca. 1 mm dicken Siliziumscheiben, den sog. Wafern, hergestellt.

 

Kraftanlagen München war mit der Planung, Lieferung und Montage der Prozess-Kühlwasseranlage (PCW-System) für das Werk Fab 36 beauftragt.

 

Es wurden zwei separate Prozesskühl-

wassersysteme mit unabhängigen Kühlwasserkreisläufen installiert. Die Tools werden bedarfsgerecht mittels frequenzgeregelter Umwälzpumpen versorgt.

 

Das Kühlsystem muss einen störungs-

freien Betrieb sicherstellen sowie eine hohe Reinheit des Mediums gewähr-

leisten. Dabei wurde besonderer Wert auf die Einhaltung der SCC**-Richt-linien sowie eine reinraumgerechte Ausführung gelegt.



Anlagenparameter

Volumenstrom
Kühlwasser 
1 x 2.300 m³/h,
1 x 540 m³/h 
Werkstoffe 
CrNi-Stahl,
PP-H 
Nennweiten 
DN 25 -
DN 1.000