Am Standort Dresden produziert AMD in den Halbleiterwerken FAB 30 und FAB 36 Prozessoren für die Computer-Industrie. Diese Prozessoren werden aus ca. 1 mm dicken Siliziumscheiben, den sog. Wafern, hergestellt.
Kraftanlagen München war mit der Planung, Lieferung und Montage der Prozess-Kühlwasseranlage (PCW-System) für das Werk Fab 36 beauftragt.
Es wurden zwei separate Prozesskühl-
wassersysteme mit unabhängigen Kühlwasserkreisläufen installiert. Die Tools werden bedarfsgerecht mittels frequenzgeregelter Umwälzpumpen versorgt.
Das Kühlsystem muss einen störungs-
freien Betrieb sicherstellen sowie eine hohe Reinheit des Mediums gewähr-
leisten. Dabei wurde besonderer Wert auf die Einhaltung der SCC**-Richt-linien sowie eine reinraumgerechte Ausführung gelegt.